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本发明提供了一种基于硫化钽薄膜的测辐射热计及其制备方法和用途，所述测辐射热计包括硫化钽薄膜、支撑电极和读出电路，其中硫化钽薄膜悬空放置于支撑电极上，支撑电极与读出电路连接。本发明中所述硫化钽薄膜通过低压化学气相沉积方法在基底上生长并通过湿法...
该专利属于国家纳米科学中心所有，仅供学习研究参考，未经过国家纳米科学中心授权不得商用。

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