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根据本发明的一实施例的薄膜沉积装置可以包括气体喷射单元，所述气体喷射单元包括沿第一方向对齐布置而向基板喷射互不相同的沉积气体的第一喷射部及第二喷射部，所述第一喷射部包括：第一喷射模块，喷射第一气体；以及第二喷射模块，布置于所述第一喷射模块的...
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