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本发明提供了一种研磨微粒，该研磨微粒包括弹性芯体和包裹所述芯体的磨料层。该研磨微粒可以被用于制作在平坦化工艺中使用的研磨剂。本发明提供的研磨微粒，由于具有弹性芯体，因而在研磨芯片等半导体材料时，能够发生弹性形变，因而可以降低由于压力过大而划...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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