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本发明涉及喷头清洗装置和晶圆清洗设备，其中喷嘴清洗装置包括：清洗槽；位于所述清洗槽壁上的至少一个第一输入口，所述第一输入口与第一管道连通，用于连接至清洗溶液源；位于清洗槽底部的至少一个输出口，所述输出口与第三管道连通，用于排出所述清洗槽内废...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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