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株式会社村田制作所
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改进的微机电加速计装置制造方法及图纸
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下载改进的微机电加速计装置的技术资料
文档序号:18767655
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本结构能够以紧凑的组件尺寸并且以最小的横轴灵敏度实现加速度的双向感测。旋转质量块(100)包括第一框架(102)和第二框架(102)。在一个感测方向上,该结构采用第一框架和第二框架的组合检测质量块,这提高了利用所述装置尺寸可实现的信噪比水平...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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