下载改进的微机电加速计装置的技术资料

文档序号:18767655

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本结构能够以紧凑的组件尺寸并且以最小的横轴灵敏度实现加速度的双向感测。旋转质量块(100)包括第一框架(102)和第二框架(102)。在一个感测方向上,该结构采用第一框架和第二框架的组合检测质量块,这提高了利用所述装置尺寸可实现的信噪比水平...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。