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本发明公开了一种柔性薄膜变容管的制备方法，以铜箔作柔性衬底，将掺杂Al、Ga或In的氧化锌为靶材，系统的本底真空度抽至3.0×10‑3Pa以下，使用Ar气体作为溅射气体溅射掺杂Al、Ga或In的氧化锌薄膜层，沉积得到50～1000nm厚的掺...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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