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一种α粒子阻隔型低能电子探测器件制造技术
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文档序号:18762509
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本发明涉及一种α粒子阻隔型低能电子探测器件。包括一端开口的外壳、真空密封窗、α粒子阻隔层及电子探测装置;真空密封窗位于外壳开口端,与外壳形成真空腔室;α粒子阻隔层紧贴真空密封窗位于外壳内部,且与外壳绝缘,用于阻隔α粒子穿过;电子探测装置包括...
该专利属于西北核技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西北核技术研究所授权不得商用。
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