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本发明涉及硅基表面质量检测的技术领域，更具体地，涉及一种超快速的硅基表面质量检测系统。包括以下装置：锁模飞秒脉冲光源，中红外光波滤波器，色散光纤，掺铒光纤放大器（EDFA），衍射光栅，基于透镜组成的4f成像系统，物镜，数字相干接收机，高速采...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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