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本实用新型提供了一种游星轮组件及其抛光装置，涉及半导体技术领域，为解决现有抛光工艺过程中，待加工件的外表面在抛光液和游星轮内壁的挤压下也被抛光，使得抛光件的原貌或者抛光件的外表面形貌被破坏的问题而设计。涉及一种游星轮组件，包括：游星轮，游星...
该专利属于苏州新美光纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州新美光纳米科技有限公司授权不得商用。

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