下载片状晶圆加工用的磨盘及专用磨床的技术资料

文档序号:18745287

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本发明公开了一种专用于片状晶圆减薄加工的磨床,包括机床载台,所述机床载台上可拆卸的安装有一用于装夹产品的载具,载具上方设有磨盘,所述磨盘包括本体,所述本体下端面设有安装槽,安装槽内设有子磨块,所述本体的下端面上沿安装槽的周向均匀分布有多个供...
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