下载静电检测传感器的技术资料

文档序号:18737367

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静电检测传感器具有第一电极、第二电极以及第三电极。控制部将第一电极与第二电极连接并施加第一驱动电压来获得第一灵敏度。控制部在将第二电极和第三电极设为地电位的状态下对第一电极施加第二驱动电压来获得第二灵敏度。控制部在将第一电极与地电位连接并将...
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