下载图像传感器及其形成方法的技术资料

文档序号:18734455

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本发明提供了一种图像传感器及其形成方法,提供一逻辑基底,在所述逻辑基底中形成暴露金属互连层中顶层金属层的第一开口,并形成防串扰层填充所述第一开口,并与所述顶层金属层相连接。本发明所提供的图像传感器及其形成方法,将所述逻辑基底中器件产生的热量...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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