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本发明提供一种去毛边系统及去毛边方法，其包括：用于放置晶圆的对位平台，晶圆的边缘具有毛边；以及激光机，激光机设置在对位平台的一侧，激光机以投射角度投射激光线，其中，激光机投射激光线以移除毛边。操作时，将晶圆放置在对位平台，对位平台具有旋转结...
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