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本发明实施例公开了一种光学系统像面离焦量的检测方法。本发明实施例中所提供的光学系统像面离焦量的检测方法，在干涉仪与光学系统齐焦光路的基础上，通过调整干涉仪使得其出射波前焦点不仅能准确落在光学系统像面的位置上，同时干涉仪出射波前会聚光和返回会...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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