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本发明公开了一种等离子体中负离子密度测量系统和方法，系统包括真空室；所述真空室底板或所述真空室盖板通过直线驱动部件密封连接有陶瓷杆，所述陶瓷杆内设有微波探针；第一石英玻璃窗或第二石英玻璃窗的外侧设有激光器，激光器发射出的激光能够透过第一石英...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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