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本发明提供一种全氮硅单晶拉晶用装置,包括炉体,炉体内设置坩埚、导流筒和用于挂设导流筒的悬挂装置,导流筒位于坩埚的上部,炉体的顶部开设有氮气进气口,悬挂装置包括中空的悬臂和进气盘,进气盘固定连接于悬臂的底部,悬臂的一端伸出炉体,悬臂的另一端伸...该专利属于内蒙古中环光伏材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环光伏材料有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种全氮硅单晶拉晶用装置,包括炉体,炉体内设置坩埚、导流筒和用于挂设导流筒的悬挂装置,导流筒位于坩埚的上部,炉体的顶部开设有氮气进气口,悬挂装置包括中空的悬臂和进气盘,进气盘固定连接于悬臂的底部,悬臂的一端伸出炉体,悬臂的另一端伸...