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一种激光打码判别硅片分类的方法技术
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文档序号:18717986
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本发明提供了一种激光打码判别硅片分类的方法,属于单晶硅片分类技术领域,包括以下步骤:(1)硅棒检测人员检测硅棒并对不良长度区间做标记;(2)对硅棒表面标记的不良长度区间进行激光灼烧打码;(3)硅棒切片;(4)根据硅片留有的激光码挑选出不良硅...
该专利属于邢台晶龙电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过邢台晶龙电子材料有限公司授权不得商用。
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