下载一种化学气相沉积装备用基座的技术资料

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本发明公开了一种化学气相沉积装备用基座,包括反应箱和基座,反应箱内部设有基座,基座内部镶嵌有加热嵌件,基座上端面设有限位框,限位框内底壁通过若干第一固定架分别固接有固定环,每一个固定环上固接有连接绳的一端,连接绳的另一端固接在同一个转动轴上...
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