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本案涉及一种高精度智能化洁净室系统，包括：洁净室，其自上向下分别设置有进气层、工作层与回流层，所述回流层包括第一横板，所述第一横板下部滑动设置在第一导轨上，所述第一横板上部设置有垂直于所述第一导轨的第二导轨，所述第二导轨上滑动设置有换气箱，...
该专利属于苏州市海魄洁净环境工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州市海魄洁净环境工程有限公司授权不得商用。

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