高精度智能化洁净室系统技术方案

本案涉及一种高精度智能化洁净室系统，包括：洁净室，其自上向下分别设置有进气层、工作层与回流层，所述回流层包括第一横板，所述第一横板下部滑动设置在第一导轨上，所述第一横板上部设置有垂直于所述第一导轨的第二导轨，所述第二导轨上滑动设置有换气箱，所述换气箱上部设有可以打开或者关闭的换气口，所述换气箱的一侧设有进气口与出气口，所述回流层的侧壁设有进气管与第一出气管；以及空气净化机，其与所述进气管、第一出气管连通，所述空气净化机包括第二出气管，所述第二出气管与所述进气层连通。本案节省能源，整体精度提高，并且随着洁净度的不同需要可以调整洁净度测量单元控制换气箱进行清理的频率。

High precision intelligent clean room system

The case involves a high-precision intelligent clean room system, including a clean room, which is provided with an air inlet layer, a working layer and a reflux layer respectively from top to bottom. The reflux layer comprises a first horizontal plate. The lower part of the first horizontal plate is sliding on the first guide rail, and the upper part of the first horizontal plate is provided with a vertical guide rail. The upper part of the air exchange box is provided with an air inlet and an air outlet on one side of the air exchange box. The side wall of the reflux layer is provided with an air inlet and a first air outlet; and the air purifier is provided with the air inlet pipe and the first air outlet pipe. The air purifier comprises a second air outlet pipe which is connected with the air inlet layer. This case saves energy, improves the overall accuracy, and with the different needs of cleanliness can be adjusted cleanliness measurement unit to control the frequency of ventilation tank cleaning.

【技术实现步骤摘要】
高精度智能化洁净室系统
本技术涉及洁净室领域，特别涉及一种高精度智能化洁净室系统。
技术介绍
洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10％-15％，64位储存器仅2％。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。洁净室系统能耗高，且大空间的洁净室系统还存在精度难以控制的问题。
技术实现思路
本技术的一个目的是解决至少上述问题或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。本技术还有一个目的是提供一种高精度智能化洁净室系统，通过洁净度测量单元判断不同区划内的空气洁净程度，发现某一区域的洁净度不达标时，通过将换气箱抽真空后移动到该区域对应的通气口处，顶升气缸上顶使得密封环密封通气口与换气口，空气净化机打开第二出气管向进气层、工作层注入洁净空气，使得工作层比外界高出一定压强后，打开换气口，将对应区划内的不达标空气吸入换气箱，关闭换气口后，顶升气缸下降，换气箱移动至初始处与空气净化机连通，通过空气净化机首先将换气箱中的不达标气体过滤、排出，并对换气箱内形成通风气流进一步清洁后，最后再通过空气净化机将换气箱抽真空准备下一次的操作，如此，通过精确的有针对性的清理，节省能源，整体精度提高，并且随着洁净度的不同需要可以调整洁净度测量单元控制换气箱进行清理的频率。为此，本技术提供的技术方案为：一种高精度智能化洁净室系统，包括：洁净室，其自上向下分别设置有进气层、工作层与回流层，所述回流层包括第一横板，所述第一横板下部滑动设置在第一导轨上，所述第一横板上部设置有垂直于所述第一导轨的第二导轨，所述第二导轨上滑动设置有换气箱，所述换气箱上部设有可以打开或者关闭的换气口，所述换气箱的一侧设有进气口与出气口，所述回流层的侧壁设有进气管与第一出气管；以及空气净化机，其与所述进气管、第一出气管连通，所述空气净化机包括第二出气管，所述第二出气管与所述进气层连通；其中，所述工作层划分为若干个底部与所述换气箱顶部平面大小、形状均一致的区隔，每个所述区隔底部开设有与所述换气口对应的通气口，每个所述区隔中设置有洁净度测量单元。优选的是，所述第一横板与第一气缸的伸缩端固定连接，所述第一气缸固定在所述回流层侧壁上。优选的是，所述第一横板底部与所述第一导轨构成第一直线电机。优选的是，所述第二导轨与所述换气箱的底部构成第二直线电机，所述第二直线电机与所述洁净度测量单元电连接。优选的是，所述第一气缸或者第一直线电机与所述洁净度测量单元电连接。优选的是，所述工作层的高度占所述洁净室高度的比例>60％。优选的是，所述换气箱的高度占所述工作层的高度的比例>30％。优选的是，所述第一导轨架设在顶升板上，所述顶升板下部设有顶升气缸。优选的是，所述换气口上方或者所述通气口下方设有密封环。本技术至少包括如下有益效果：通过洁净度测量单元判断不同区划内的空气洁净程度，发现某一区域的洁净度不达标时，通过将换气箱抽真空后移动到该区域对应的通气口处，顶升气缸上顶使得密封环密封通气口与换气口，空气净化机打开第二出气管向进气层、工作层注入洁净空气，使得工作层比外界高出一定压强后，打开换气口，将对应区划内的不达标空气吸入换气箱，关闭换气口后，顶升气缸下降，换气箱移动至初始处与空气净化机连通，通过空气净化机首先将换气箱中的不达标气体过滤、排出，并对换气箱内形成通风气流进一步清洁后，最后再通过空气净化机将换气箱抽真空准备下一次的操作，如此，通过精确的有针对性的清理，节省能源，整体精度提高，并且随着洁净度的不同需要可以调整洁净度测量单元控制换气箱进行清理的频率。附图说明图1为高精度智能化洁净室系统的俯视示意图；图2为图1中A—A处的截面图；图3为图2中A处的放大示意图；图4为高精度智能化洁净室系统的俯视横截面示意图。具体实施方式下面通过实施例对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”，“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。结合图1-4所示，有如下实施例：一种高精度智能化洁净室系统，包括：洁净室，其自上向下分别设置有进气层100、工作层200与回流层300，所述回流层300包括第一横板310，所述第一横板310下部滑动设置在第一导轨320上，所述第一横板310上部设置有垂直于所述第一导轨320的第二导轨330，所述第二导轨330上滑动设置有换气箱340，所述换气箱340上部设有可以打开或者关闭的换气口341，所述换气箱340的一侧设有进气口与出气口，所述回流层300的侧壁设有进气管350与第一出气管360；以及空气净化机400，其与所述进气管350、第一出气管360连通，所述空气净化机400包括第二出气管410，所述第二出气管410与所述进气层100连通；其中，所述工作层200划分为若干个底部与所述换气箱340顶部平面大小、形状均一致的区隔，每个所述区隔底部开设有与所述换气口341对应的通气口210，每个所述区隔中设置有洁净度测量单元。所述第一横板310与第一气缸的伸缩端固定连接，所述第一气缸固定在所述回流层300侧壁上。所述第一横板310底部与所述第一导轨320构成第一直线电机。所述第二导轨330与所述换气箱340的底部构成第二直线电机，所述第二直线电机与所述洁净度测量单元电连接。所述第一气缸或者第一直线电机与所述洁净度测量单元电连接。所述工作层200的高度占所述洁净室高度的比例>60％。所述换气箱340的高度占所述工作层200的高度的比例>30％。所述第一导轨320架设在顶升板370上，所述顶升板370下部设有顶升气缸380。所述换气口341上方设有密封环342。由上所述，通过洁净度测量单元判断不同区划内的空气洁净程度，发现某一区域的洁净度不达标时，通过将换气箱抽真空后移动到该区域对应的通气口处，顶升气缸上顶使得密封环密封通气口与换气口，空气净化机打开第二出气管向进气层、工作层注入洁净空气，使得工作层比外界高出一定压强后，打开换气口，将对应区划内的不达标空气吸入换气箱，关闭换气口后，顶升气缸下降，换气箱移动至初始处与空气净化机连通，通过空气净化机首先将换气箱中的不达标气体过滤、排出，并对换气箱内形成通风气流进一步清洁后，最后再通过空气净化机将换气箱抽真空准备下一次的操作，如此，通过精确的有针对性的清理，节省能源，整体精度提高，并且随着洁净度的不同需要可以调整洁净度测量单元控制换气箱进行清理的频率。尽管本技术的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本技术的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本技术并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度智能化洁净室系统，其特征在于，包括：洁净室，其自上向下分别设置有进气层、工作层与回流层，所述回流层包括第一横板，所述第一横板下部滑动设置在第一导轨上，所述第一横板上部设置有垂直于所述第一导轨的第二导轨，所述第二导轨上滑动设置有换气箱，所述换气箱上部设有可以打开或者关闭的换气口，所述换气箱的一侧设有进气口与出气口，所述回流层的侧壁设有进气管与第一出气管；以及空气净化机，其与所述进气管、第一出气管连通，所述空气净化机包括第二出气管，所述第二出气管与所述进气层连通；其中，所述工作层划分为若干个底部与所述换气箱顶部平面大小、形状均一致的区隔，每个所述区隔底部开设有与所述换气口对应的通气口，每个所述区隔中设置有洁净度测量单元。

【技术特征摘要】
1.一种高精度智能化洁净室系统，其特征在于，包括：洁净室，其自上向下分别设置有进气层、工作层与回流层，所述回流层包括第一横板，所述第一横板下部滑动设置在第一导轨上，所述第一横板上部设置有垂直于所述第一导轨的第二导轨，所述第二导轨上滑动设置有换气箱，所述换气箱上部设有可以打开或者关闭的换气口，所述换气箱的一侧设有进气口与出气口，所述回流层的侧壁设有进气管与第一出气管；以及空气净化机，其与所述进气管、第一出气管连通，所述空气净化机包括第二出气管，所述第二出气管与所述进气层连通；其中，所述工作层划分为若干个底部与所述换气箱顶部平面大小、形状均一致的区隔，每个所述区隔底部开设有与所述换气口对应的通气口，每个所述区隔中设置有洁净度测量单元。2.根据权利要求1所述的高精度智能化洁净室系统，其特征在于，所述第一横板与第一气缸的伸缩端固定连接，所述第一气缸固定在所述回流层侧壁上。3.根据权利要求2所述的高精度智能化...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈强，王丽芳，张建波，郭哲，国金花，阚龙，
申请(专利权)人：苏州市海魄洁净环境工程有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32