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一种制备分级微结构的纳米压印装置制造方法及图纸
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下载一种制备分级微结构的纳米压印装置的技术资料
文档序号:18634681
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本实用新型公开了一种制备分级微结构的纳米压印装置,包括放卷辊、衬底、张紧辊、处理腔、支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三、调节装置一、可调换式涂胶装置、红外线加热装置、调节装置二、换辊装置、背辊、刻蚀腔、导向辊和收卷辊,其中,放卷辊与收卷辊对衬底进...
该专利属于长春工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春工业大学授权不得商用。
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