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一种可制备复杂微结构的纳米压印装置，首先放卷辊放出衬底，涂胶辊将光刻胶涂在衬底上，将衬底传送到压印装置下方，加热辊将光刻胶加热到玻璃化温度，压印辊一进行压印，然后固化，之后通过刻蚀装置清除残余层，衬底再次回到压印装置下方，再进行加热，旋转盘...
该专利属于长春工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春工业大学授权不得商用。

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