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本发明涉及一种基板检测装置。基板检测装置包括检测设备、探测设备和控制设备，检测设备与基板正对，检测设备用于检测基板；探测设备用于探测检测设备与基板的距离，并输出距离值；控制设备根据距离值调节检测设备与基板之间的距离。上述基板检测装置，探测设...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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