基板检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基板检测装置。基板检测装置包括检测设备、探测设备和控制设备，检测设备与基板正对，检测设备用于检测基板；探测设备用于探测检测设备与基板的距离，并输出距离值；控制设备根据距离值调节检测设备与基板之间的距离。上述基板检测装置，探测设备能够探测检测设备与基板之间的距离，并输出距离值。控制设备可以根据该距离值，相应调节检测设备与基板之间的距离。当探测设备探测到的检测设备与基板之间的距离值小于安全值时，控制设备将检测设备与基板之间的距离值调节为大于或等于安全值。这样，可以避免检测设备与基板之间的碰撞，从而避免检测设备或基板的损坏。

Base plate detection device

The present invention relates to a substrate detection device. The base plate detection device includes the detection equipment, the detection equipment and the control equipment, the detection equipment and the base board, the detection equipment used to detect the base plate, the detection equipment used to detect the distance between the detection equipment and the base board, and output the distance value, and the control equipment adjusts the distance between the detection equipment and the base plate according to the distance value. The substrate detection device can detect the distance between the detection device and the substrate and output the distance value. The control device can adjust the distance between the detection device and the substrate accordingly according to the distance value. When the distance between the detection device and the substrate is less than the safety value, the control device regulates the distance between the detection device and the base plate to be greater than or equal to the safety value. In this way, collision between the detection device and the substrate can be avoided, thereby avoiding damage to the detection equipment or substrate.

【技术实现步骤摘要】
基板检测装置
本专利技术涉及显示面板制造
，特别涉及一种基板检测装置。
技术介绍
在显示面板的基板生产过程中，对于完成加工的基板，通常需要检测基板是否存在缺陷，已确定基板是否良好。基板检测装置用于检测基板是否存在缺陷，基板检测装置的检测设备位于基板的上方，并且检测设备相对于基板平移，以全面检测基板。在检测基板时，检测设备与基板的距离很小，约为30～50um，以准确地检测基板。但是，由于检测设备与基板的距离很小，如果基板检测装置的其它部件出现异常，在检测设备移动的过程中，检测设备容易与基板碰撞，造成检测设备或基板损坏，导致基板生产成本增加。
技术实现思路
基于此，有必要针对传统的基板检测装置中，检测设备容易与基板碰撞，造成检测设备或基板损伤的问题，提供一种基板检测装置。一种基板检测装置，用于检测基板是否存在缺陷。所述基板检测装置包括检测设备、探测设备和控制设备，所述检测设备与所述基板正对，所述检测设备用于检测所述基板。所述探测设备用于探测所述检测设备与所述基板的距离，并输出距离值。所述控制设备根据所述距离值调节所述检测设备与所述基板之间的距离。上述基板检测装置，探测设备能够探测检测设备与基板之间的距离，并输出距离值。控制设备可以根据该距离值，相应调节检测设备与基板之间的距离。当探测设备探测到的检测设备与基板之间的距离值小于安全值时，控制设备将检测设备与基板之间的距离值调节为大于或等于安全值。这样，可以避免检测设备与基板之间的碰撞，从而避免检测设备或基板的损坏。在其中一个实施例中，所述探测设备包括探头，所述探头与所述检测设备位于所述基板的同侧，所述探头与所述检测设备连接在一起，且所述探头与所述基板正对，所述探头与所述基板之间的距离反映所述检测设备与所述基板之间的距离。在其中一个实施例中，所述探头包括探测极板，所述探测极板与所述基板平行，且所述探测极板正对所述基板的表面与所述检测设备靠近所述基板的端部的端面共面。在其中一个实施例中，所述探测极板的材质为金属；所述探测设备还包括参考极板，所述参考极板位于所述基板背离所述检测设备的一侧，所述参考极板的材质为金属，所述探测极板与所述参考极板构成电容传感器的两个极板。在其中一个实施例中，基板检测装置还包括平移机构，所述平移机构与所述检测设备连接，所述平移机构驱动所述检测设备相对所述基板平移。所述参考极板的面积大于或等于所述基板的面积。在其中一个实施例中，所述探测极板的数量为多个，每个所述探测极板与所述参考极板同时构成不同电容传感器的两个极板。在其中一个实施例中，基板检测装置还包括载台，所述载台位于所述基板背离所述检测设备的一侧，所述载台所述载台用于支撑所述基板。在其中一个实施例中，所述参考极板嵌设于所述载台的内部。在其中一个实施例中，所述载台作为所述参考极板。在其中一个实施例中，基板检测装置还包括升降机构，所述升降机构与所述检测设备连接，所述升降机构驱动所述检测设备相对所述基板升降。附图说明图1为本专利技术一实施例的基板检测装置的主视图；图2为图1所示实施例的基板检测装置的俯视图；图3为图1所示的实施例的探测极板与参考极板的示意图。具体实施方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。一种基板检测装置100，用于检测基板200是否存在缺陷。请参照图1和图2，图1为本实施例的基板检测装置100的结构示意图，图2为图1所示的基板检测装置100的俯视图。如图1和图2所示，该基板检测装置100包括检测设备110、探测设备120和控制设备(未示出)，检测设备110与基板200正对，检测设备110用于检测基板200。探测设备120用于探测检测设备110与基板200的距离，并输出距离值。控制设备根据距离值调节检测设备110与基板200之间的距离。上述基板检测装置100，探测设备120能够探测检测设备110与基板200之间的距离，并输出距离值。控制设备可以根据该距离值，相应调节检测设备110与基板200之间的距离。当探测设备120探测到的检测设备110与基板200之间的距离值小于安全值时，控制设备将检测设备110与基板200之间的距离值调节为大于或等于安全值。这样，可以避免检测设备110与基板200之间的碰撞，从而避免检测设备110或基板200的损坏。基板检测装置100还包括平移机构(未示出)，平移机构与控制设备电连接，平移机构的运行由控制设备控制，且平移机构与检测设备110连接，平移机构驱动检测设备110相对基板200平移。在检测设备110检测基板200时，检测设备110在平行于基板200的平面内移动，以全面检测基板200的各个位置。因此，检测设备110需要移动时，控制设备控制平移机构运行，从而平移机构驱动检测设备110朝目标位置平移，使得检测设备110平移方便。基板检测装置100还包括升降机构(未示出)，升降机构与控制设备电连接，升降机构的运行由控制设备控制，且升降机构与检测设备110连接，升降机构驱动检测设备110相对基板200升降。升降机构用于调节检测设备110与基板200之间的距离。当检测设备110与升降机构之间的距离需要调节时，控制设备控制升降机构运行，从而升降机构驱动检测设备110相对基板200升降，使得检测设备110升降方便。基板检测装置100还包括载台130，载台130位于基板200背离检测设备110的一侧，载台130用于支撑基板200。这样，基板200需要检测时，可以将基板200放在载台130上，使基板200稳固，以保护基板200。探测设备120包括探头121，探头121与检测设备110位于基板200的同侧，探头121与检测设备110连接在一起，且探头121与基板200正对，探头121与基板200之间的距离反映检测设备110与基板200之间的距离。本实施例中，探头121与检测设备110并排设置且连接在一起，探头121随检测设备110一起相对基板200平移或升降，并且探测设备120通过探测探头121与基板200之间的距离，间接探测检测设备110与基板200之间的距离。这样，可以随时测量检测设备110与基板200之间的距离，测量方便。具体地，探头121包括探测极板121A，探测极板121A随检测设备110一起相对基板200平移或升降，探测极板121A与基板200平行，且探测极板121A正对基板200的表面与检测设备110靠近基板200的端部的端面共面。因此，探测设备120探测到的探测极板121A与基板200之间的距离即为检测设备110与基板200之间的距离，这样，可以直接探测检测设备110与基板200之间的距离，探测方便。进一步地，本实施例中，探测极板121A作为探头121，结构简便。探测极板121A的材质为金属，使得探测极板121A结实耐用。探测设备120还包括参考极板122，参考极板122位于基板200背离检测设备110的一侧。参考极板122的材质为金属，探测极板121A与参考极板122构成电容传感器的两个极板。因此，本实施例中，由探测极板121A和参考极板122构成的电容传感器作为探测设备120，且电容传感器为为精密仪器。探测极板121A在随检测设备110相对基板200升降的过程中，探测极板121本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置包括检测设备、探测设备和控制设备，所述检测设备与所述基板正对；所述探测设备探测所述检测设备与所述基板的距离，并输出距离值；所述控制设备根据所述距离值调节所述检测设备与所述基板之间的距离，以使所述距离值大于或等于预设的安全值。

【技术特征摘要】
1.一种基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置包括检测设备、探测设备和控制设备，所述检测设备与所述基板正对；所述探测设备探测所述检测设备与所述基板的距离，并输出距离值；所述控制设备根据所述距离值调节所述检测设备与所述基板之间的距离，以使所述距离值大于或等于预设的安全值。2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述探测设备包括探头，所述探头与所述检测设备位于所述基板的同侧，所述探头与所述检测设备连接在一起，且所述探头与所述基板正对，所述探头与所述基板之间的距离反映所述检测设备与所述基板之间的距离。3.根据权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，所述探头包括探测极板，所述探测极板与所述基板平行，且所述探测极板正对所述基板的表面与所述检测设备靠近所述基板的端部的端面共面。4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述探测极板的材质为金属；所述探测设备还包括参考极板，所述参考极板位于所述基板背离所述检测设备的一侧，...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁力栋，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32