温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种适用于单片式外延炉的分离式基座组件，包括分离式基座，所述分离式基座包括：第一部分，第一部分包括主体部及挖空部，挖空部沿主体部的厚度方向贯穿主体部；第二部分，第二部分包括平面部，平面部的形状及尺寸与挖空部的形状及尺寸相同，第二部...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。