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光电路交换机反射镜阵列裂纹防护制造技术
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文档序号:18574944
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本申请涉及光电路交换机反射镜阵列裂纹防护。光电交换机在近年来在数据中心中的地位日益突出,因为它们能够快速地转发光数据信号而无需首先将那些信号转换回电域。某些光电路交换机是利用一个或多个单轴或双轴万向微机电系统(MEMS)反射镜实现的,所述单...
该专利属于谷歌有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过谷歌有限责任公司授权不得商用。
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