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一种防水罩和一种晶圆处置装置，所述防水罩用于放置于晶圆处理腔室上方，所述晶圆处理腔室顶部具有一窥视孔，所述晶圆处理腔室上方具有一红外测温仪，所述红外测温仪用于向晶圆处理腔室内发射红外光，形成一垂直于窥视孔的光路，所述防水罩包括：竖直水挡，竖...
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