下载一种基于晶圆测试设计的探针卡基板的技术资料

文档序号:18551410

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本发明提供一种基于晶圆测试设计的探针卡基板,包括植针区域、测试源模块、继电器模块和熔丝模块。所述植针区域分别与测试源模块、继电器模块和熔丝模块连接,所述植针区域设有若干个用于对晶圆测试产品进行植针的植针点。所述测试源模块包括若干个测试接口且...
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