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本发明公开了一种基于原子力显微镜的表面阻抗成像测试方法和装置，该方法通过将原子力显微镜和阻抗测试仪联合使用，使得原子力显微镜在测量形貌的同时，也可以得到表面微观结构上的交流阻抗信息。所述的测试装置基于法拉第屏蔽箱、原子力显微镜、阻抗测试仪，...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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