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本实用新型公开了一种直线电机驱动的样品台，包括底座，底座上从下往上依次安装有Y轴组件、X轴组件和Z轴组件，且X轴组件、Y轴组件和Z轴组件沿XYZ三个轴向相互垂直布设，在Z轴组件上安装有水平方向的承物台；在Y轴组件、X轴组件和Z轴组件上均安装...
该专利属于长安大学所有，仅供学习研究参考，未经过长安大学授权不得商用。

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