温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种化学气相沉积设备，包括：至少两个独立的带有进气口和排气口的反应室，一个可移动加热设备；所述的每个反应室包括一个一端开口而另一端封闭的反应管、一个置于反应管内部的导气管、和一个同时与反应管开口端和导气管相连的转接器件；所述的可移动加热设备...
该专利属于福建闽烯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建闽烯科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。