下载一种卷绕式PVD物理学沉积真空磁控溅射镀银铜合金层方法的技术资料

文档序号:18545509

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本发明公开一种卷绕式PVD物理学沉积真空磁控溅射镀银铜合金层方法,包括在PET基膜表面除杂预处理、抽真空、充入惰性气体、加热、溅射复合多种金属层等步骤。磁控溅射镀表银铜合金层的总厚度很薄,有效节省了生产时间;使得PET基膜表面层最终达到电流...
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