下载硅片自动清洗脱胶一体机的技术资料

文档序号:18536416

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本实用新型公开了一种能够实现硅片清洗和脱胶一次完成的硅片自动清洗脱胶一体机。该硅片自动清洗脱胶一体机,包括水洗清洗装置、脱胶装置、硅片水平输送装置;所述水洗清洗装置以及脱胶装置并排设置;水洗清洗装置以及脱胶装置均包括高压泵、至少两个支撑座,...
该专利属于乐山新天源太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乐山新天源太阳能科技有限公司授权不得商用。

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