温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开提供一种声学设备及其晶圆级封装方法,涉及半导体领域。该声学设备包括基底和声学器件,其中声学器件与基底的第一表面结合,以便在声学器件与基底的第一表面之间形成密闭腔室,基底的远离声学器件的第二表面设有声学设备的管脚焊盘,声学设备的管脚焊盘...该专利属于宜确半导体(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜确半导体(苏州)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开提供一种声学设备及其晶圆级封装方法,涉及半导体领域。该声学设备包括基底和声学器件,其中声学器件与基底的第一表面结合,以便在声学器件与基底的第一表面之间形成密闭腔室,基底的远离声学器件的第二表面设有声学设备的管脚焊盘,声学设备的管脚焊盘...