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本发明提供一种高效大尺寸单晶金刚石的生长方法和装置。本发明所提供的生长方法，包括如下步骤：将金刚石衬底放置于微波谐振腔中的基片台上；将含有碳源和氢气的反应气体通过喷头送入激光解离腔内进行充分电离；在基片台和喷头之间施加电场；然后将电离后的气...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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