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本发明提供一种弧形电极等离子体化学气相沉积装置，能够避免板间电缆与电极的相对滑动，消除了划痕缺陷。该装置的放卷室、镀膜室、收卷室三个腔室相连，形成真空腔体，真空泵与所述真空腔体相连，形成抽气系统；卷绕机构与纠偏机构相连，圆形电极和弧形电极安...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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