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本实用新型涉及一种用于磁控溅射设备的旋转样品台，包括样品架（1），在样品架（1）上设有旋转座（2），在旋转座（2）上转动配合连接伸缩杆（3），伸缩杆（3）通过球头（4）连接支撑杆（5），在支撑杆（5）上固定连接托盘（6）。本实用新型的优点：...该专利属于中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种用于磁控溅射设备的旋转样品台，包括样品架（1），在样品架（1）上设有旋转座（2），在旋转座（2）上转动配合连接伸缩杆（3），伸缩杆（3）通过球头（4）连接支撑杆（5），在支撑杆（5）上固定连接托盘（6）。本实用新型的优点：...