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具有减少的位线到漏极选择栅极短路的存储器装置和系统及相关联的方法制造方法及图纸
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下载具有减少的位线到漏极选择栅极短路的存储器装置和系统及相关联的方法的技术资料
文档序号:18466584
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一种形成存储器结构的方法(图3i‑3j),包括:提供分层半导体衬底(304),其具有接触区(302)、接触区上的源极选择栅极(306、SGS)层和SGS层上的半导体层的层叠堆叠(308);在半导体衬底的层叠堆叠上形成漏极选择栅极(312、S...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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