下载在双侧互连器件上制作和使用穿硅过孔的技术资料

文档序号:18466529

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一种装置包括:电路结构,所述电路结构包括器件层;在器件层的第一侧上并且耦合到晶体管器件中的多个晶体管器件的一个或多个导电互连级;以及衬底,所述衬底包括耦合到所述一个或多个导电互连级的导电穿硅过孔,使得所述一个或多个互连层位于所述穿硅过孔和所...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

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