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一种多层式旋转型压电精密驱动器制造技术
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下载一种多层式旋转型压电精密驱动器的技术资料
文档序号:18460457
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本发明提出了一种多层式旋转型压电精密驱动器,包括n层基体、薄壁梁和压电陶瓷片,其中n为大于1的整数,最内层基体的形状为环形或圆形,其余n‑1层基体的形状为环形,相邻两层基体之间设置有m个薄壁梁,其中m为大于1的整数,n层基体通过薄壁梁连接,...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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