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本实用新型涉及一种晶圆传送盒，包括：盒体，具有一容纳腔，所述盒体一侧具有开口，便于晶圆进出；位于所述容纳腔内的晶圆支撑架，用于放置多层晶圆，并控制各层晶圆进行转动；传感检测装置，用于检测置于所述容纳腔内的晶圆的标记，实现晶圆位置对准。所述晶...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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