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本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种萃取电极及离子注入装置。所述萃取电极，包括电极本体，还包括设置于电极本体中的入口、出口以及与所述入口、出口连通的通道；冷却流体从所述入口进入，在所述通道中与所述电极本体进行热交换，吸收所述电极本...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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