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离子注入方法以及离子注入装置，以高精度迅速调整线性加速器的透镜参数。离子注入装置具备：多级线性加速单元(110)，包含多级高频谐振器和多级收敛透镜；第1射束测量部(160)，设置于多级线性加速单元(110)的中途，构成为使射束轨道(Z)的中...
该专利属于住友重机械离子科技株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械离子科技株式会社授权不得商用。

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