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本发明公开一种磁控溅射设备及其遮挡板组件，其中遮挡板组件包括相互搭接的第一遮挡板和第二遮挡板，第一遮挡板和/或第二遮挡板设置为弧形结构，第一遮挡板的圆心与第二遮挡板的圆心分别设置于遮挡板组件的两侧。由于第一遮挡板和第二遮挡板预先设置为弧形结...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示技术有限公司授权不得商用。