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蒸镀装置制造方法及图纸
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文档序号:18441441
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一种蒸镀装置,用于将有机材料蒸镀到基板上,所述蒸镀装置包括真空腔室,设置在所述真空腔室内的材料槽、掩膜板和加热结构;所述材料槽与所述掩膜板之间形成有扁平的蒸发腔,所述有机材料设置在所述蒸发腔内,所述加热结构套设在所述材料槽的外侧以使所述蒸发...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。
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