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本发明公开了一种基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统及检测方法，包括：真空机械手设备系统；x‑y轴高清监测摄像头，用于检测真空机械手x‑y轴水平面运动位置和姿态的变化；z轴高清监测摄像头，于所述真空机械手侧面垂直放置，用于检测真空机...
该专利属于东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北大学授权不得商用。

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