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本发明属于光学精密检测技术领域，涉及一种自由曲面形貌的双边错位差动共焦检测方法与装置，可用于自由曲面形貌的纳米精度检测。该装置包括：主动气浮隔震弹簧、气浮隔振基座、X向气浮导轨、龙门架、双边错位激光共焦定焦触发测量系统、激光干涉位移测量镜组...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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