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本发明公开了一种蒸镀方法及蒸镀系统，属于显示技术领域。该方法包括：在真空腔室中，对蒸镀靶材进行加热，使得靶材分子从加热后的蒸镀靶材上脱离并射出，以附着在待蒸镀基板，该待蒸镀基板的温度小于蒸镀靶材的温度；在待蒸镀基板远离蒸镀靶材的一侧输出矩形...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司授权不得商用。