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本发明为关于一种穿透式激光直接成像系统，其主要包括可在一Y方向上相对位移的一载台及一激光曝光装置，且在位移过程中，该激光曝光装置可在一X方向上对该载台上的基板进行扫描，以在该基板上形成一潜像图案，详言之，该激光曝光装置具有一激光模组，其包括...
该专利属于旭东机械工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过旭东机械工业股份有限公司授权不得商用。

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