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本发明涉及一种压差式气体微流量传感器，包括一单晶硅基片及集成于该单晶硅基片同一面上的一个气体微沟道及两个压力传感器；气体微沟道沿...
该专利属于上海工程技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海工程技术大学授权不得商用。

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